扫描电镜背散射模式操作教程（附下载资源）

背散射模式下可以很好地进行元素的分布进行分析，是电子扫描电镜种的一个重要模块。这里小编为大家整理了背散射模式详细的操作流程，希望可以帮到大家。

1. 工作距离需要调节为8~15mm，因为样品倾角台倾角为0时才可插入探测器。

按主机上的GUN VAVLECLOSE键，此处变亮；

2.点击电脑界面上箭头所示处（RBEIIN）

3. 背散射电子探针进入工作状态，探针进入真空室（图中为背散射电子探针工作状态）

4.探针深入之后，等待约90s，按灭主机上的GUN VAVLE CLOSE键，此灯灭；

5. 先在SEI模式下调清楚，然后改变成像模式，背散射电子成像选择COMPO模式，因为背散射电子一般都是在SEI选择好之后进行成像，故换成背散射电子成像模式之后可直接进行拍照保存（拍照保存方法与二次电子成像方法一致）

6. 完成后右下角显示参数

7. 背散射成像完成之后，点击电脑界面上RBEI IN，退出背散射探针，背散射成像完成

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